
在日前揭晓的2006年度国家科技进步奖一等奖中,“高端硅基SOI材料研发和产业化”项目榜上有名。研发这一项目的领军人物,是中科院上海微系统与信息技术研究所党委副书记兼副所长、上海新傲科技有限公司董事长兼首席执行官王曦博士。
1998年,作为“洪堡学者”的王曦,结束了在欧洲最大的离子束材料研究基地的工作回国。当时,一种名叫“绝缘体上硅(SOI)”的新技术被IBM用于服务器材料中,国际上公认其为21世纪的硅集成电路技术。我国虽从上世纪80年代起研究SOI技术,但一直处于论文和实验室阶段,西方国家对我国严密封锁这一技术。“一定要成功研发出SOI材料,并让其走出实验室,走向市场。”王曦立下誓言。在863、973等计划支持下,他运用自己专长的“离子注入技术”,带领团队进行一系列重大创新。
那些日子里,王曦不仅承担技术研发的重任,还挑起企业运作的担子。从资金、设备到经营、管理,一切从头学起、白手起家。2002年4月底,王曦和他的团队仅用5个多月,就在上海新傲科技有限公司建成国内第一条具有国际先进水平的SOI生产线。两个月后,第一批SOI圆片材料问世。美国硅谷的《半导体商业新闻》惊呼:中国“突然”出现了一个现代化的SOI圆片工厂。短短5年,中国的SOI产品远销美欧、韩国等地,上海新傲科技有限公司也成为英特尔、三星等知名跨国公司的供货商,是全球第四个SOI研发中心。
王曦和他的团队填补了我国SOI晶片材料的空白,为民族电子产业发展作出了贡献。目前,他们又把眼光瞄向国际SOI产业“第二集团”领头羊的目标。